在中國開始銷售利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式無損傷三態(tài)測維表面形量的納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800”,該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測量標(biāo)準(zhǔn)“ISO 25178*1參數(shù)對比工具”,通過簡單而準(zhǔn)確的樣品測量支持客戶的分析業(yè)務(wù),與此同時(shí),憑借不斷創(chuàng)新積累的三維測量性能,實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的表面性狀的測量。
在半導(dǎo)體、汽車、食品、醫(yī)藥品等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的材料研究和開發(fā)方面,為了提高產(chǎn)品的性能與功能,對產(chǎn)品表面的粗糙度、凸凹不平、翹曲等表面形狀的評估變得尤其重要。以往,表面形態(tài)的測量方法,一般是采用觸針式粗糙度測量儀等進(jìn)行二維測量(線+高差),但近年來,伴隨著材料的薄膜化和微細(xì)構(gòu)造化的加速,需要獲取更多的信息,因此,采用掃描型白光干涉顯微鏡*2和激光顯微鏡*3等進(jìn)行三維測量(面+高差)便得到了靈活應(yīng)用。
此外,2010年制定了有關(guān)三維表面形態(tài)評估的標(biāo)準(zhǔn)ISO 25178,確立了評估方法,在這種背景下,實(shí)施三維測量的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)等日益增多。因此,需要我們急切實(shí)現(xiàn)有關(guān)表面形態(tài)測量上的測量與分析的簡單化以及應(yīng)對多種樣品的測量問題。
此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品, 搭配了符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的分析工具 “ISO 25178參數(shù)對比工具”。在ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了評估表面性狀的32個(gè)項(xiàng)目的參數(shù),但在對比樣品時(shí),選擇適合評估的參數(shù)很難,成為分析業(yè)務(wù)的難題。“ISO 25178參數(shù)對比工具”,通過按差異程度大小順序自動對測量的參數(shù)值進(jìn)行依次排序,可輕松選出適合對比樣品的參數(shù),從而支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
此外,“VS1800” 產(chǎn)品,通過光干涉方法*4除了可實(shí)現(xiàn)大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現(xiàn)性外,亦通過日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),繼承了多層膜的無損傷測量等傳統(tǒng)產(chǎn)品的高測量性能。此外,該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能,通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)的光干涉方式無法實(shí)現(xiàn)的大傾斜角斜面測量,從而應(yīng)對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。
日立高新技術(shù)集團(tuán)擁有可實(shí)現(xiàn)極微細(xì)樣品的高分辨率測量的原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡直至大視野、高精度測量可能的“VS1800”等產(chǎn)品陣容,提供表面分析解決方案,從而滿足客戶的廣泛需求。
*1 ISO 25178:規(guī)定表面形態(tài)評估方法的標(biāo)準(zhǔn)。
*2掃描型白色干涉顯微鏡:利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式、無損傷的表面形態(tài)測量的測量設(shè)備。
*3激光顯微鏡:將激光作為光源進(jìn)行表面形態(tài)測量的測量設(shè)備。
*4光干涉方法:是利用兩列或兩列以上的光波相互疊加而出現(xiàn)光明暗(干涉條紋)現(xiàn)象(干涉)的檢查方法。
*5 0.01 nm的垂直方向分辨率為Phase模式時(shí)的性能。
*6“大傾斜角測量選配”為選擇項(xiàng)目。
【主要特點(diǎn)】
(1)高測量性能
?垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通過獨(dú)自的算法,實(shí)現(xiàn)0.01 nm*的垂直方向分辨率
?重現(xiàn)性:利用干涉條紋測量凸凹的高度,通過將來自Z驅(qū)動機(jī)構(gòu)的影響小化,實(shí)現(xiàn)0.1 %以下的重現(xiàn)性
?測量速度:由于不需要樣品的前處理,只要將樣品放置在樣品臺上即可完成測量準(zhǔn)備。通過光干涉方法快5秒鐘即可完成測量
?測量視野:以從干涉條紋獲取的信息為基礎(chǔ)進(jìn)行凸凹高度的測量,由此可實(shí)現(xiàn)廣范圍(One-shot大6.4 mm×6.4 mm)測量與高垂直方向分辨率的兩者兼顧。此外,通過連接多個(gè)數(shù)據(jù)的圖像,可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)廣范圍的分析
?無損傷測量:通過日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),對玻璃和薄膜等透明多層結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行測量時(shí),無需對樣品進(jìn)行加工切割成截面,即可在無損傷的情況下,完成多層結(jié)構(gòu)樣品的各層厚度或異物混入狀況的確認(rèn)以及缺陷分析等
* Phase模式時(shí)
(2)易于使用的操作界面
采用直觀易懂的操作界面,能夠輕而易舉地進(jìn)行圖像分析處理前后的圖像對比,從而支持分析時(shí)的合適圖像處理選擇。此外,可簡單地列出處理與分析的內(nèi)容、創(chuàng)建獨(dú)自的分析參數(shù)、重復(fù)使用分析參數(shù)等,并且還可批量處理數(shù)據(jù),由此實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一管理多個(gè)樣品和分析結(jié)果,減輕繁瑣復(fù)雜的后處理。
(3) ISO 25178參數(shù)對比工具
在對比多個(gè)樣品時(shí),通過將ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的32項(xiàng)參數(shù)值按差異的大小順序重新排列,從而在樣品對比時(shí)能夠輕松選取適參數(shù),支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
(4)硬件升級
按每一臺XY樣品臺的驅(qū)動方式,設(shè)計(jì)了3個(gè)類型的產(chǎn)品,即基礎(chǔ)模式的手動型Type 1、電動型Type 2、Type 3。從Type 1到Type 2、Type 3,均可根據(jù)不同的用途進(jìn)行升級。
注:日立高新技術(shù)以成為深受客戶信賴的企業(yè)為目標(biāo),通過開展基于高新技術(shù)解決方案的"創(chuàng)造價(jià)值"為基礎(chǔ)的事業(yè)活動,為社會的發(fā)展進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。本公司在本著"公正透明"的誠信理念進(jìn)行經(jīng)營活動,在實(shí)現(xiàn)持續(xù)成長的同時(shí),也充分重視在環(huán)保上與"環(huán)境的協(xié)調(diào)"。作為充滿熱情和自豪感的企業(yè)市民,為實(shí)現(xiàn)富裕的社會盡自己的力量。
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